半導體行業

半導體行業的測量任務要求最高的準確性和可重複性。Micro-Epsilon為從精確的機器定位，晶圓檢查到形貌測量的眾多應用提供了正確的解決方案。

電容式位移傳感器用於精確測量晶圓的厚度。兩個相對的傳感器檢測厚度，並確定其他參數，例如彎曲偏斜或鋸痕。...

共焦色度傳感器掃描晶片表面以檢測彎曲，翹曲和變形。confocalDT控制器提供70 kHz的測量速率，可實現高度動態的測量，從而使晶圓...

為了自動檢測和測量鋸痕，使用了Micro-Epsilon的共焦色度傳感器。控制器的快速表面補償功能可按順序調節曝光週期。

Micro-Epsilon的共焦色度位移傳感器用於檢查凸點。它們在晶片上產生一個小的光斑，同時在高溫度下可靠地檢測出最小的零件和結構。

共焦色度傳感器用於單面層厚度測量。共焦測量原理可評估多個信號峰值，從而允許透明材料的厚度...

共焦色度傳感器從兩側測量厚度偏差（總厚度偏差）和晶片厚度。基於晶片厚度輪廓，可以檢測晶片的彎曲和翹曲。...

Micro-Epsilon的共聚焦色度傳感器用於檢測晶片上的裂紋和其他缺陷。由於具有快速的表面補償功能，它們可以可靠地檢測出具有變化反射特性的表面。

非接觸式感應位移傳感器（渦電流）可測量鏡頭元件的位置，以實現最高的成像精度。根據鏡頭系統，位移傳感器...

Micro-Epsilon的非接觸式傳感器用於晶片台的位置監控，它們在其中測量台的高度動態XYZ運動，該運動非常迅速地加速。電容式和電感式...

為了照亮晶片上的各個組件，光刻設備將晶片移動到相應位置。電容式位移傳感器測量行進路徑的位置，以便...

光刻工藝需要高分辨率和機器運動的長期測量，以實現最大的精度。高分辨率可使用...進行掩模的納米級精確定位

Micro Epsilon Taiwan

矽晶片的高精度厚度測量