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光刻機中透鏡系統的定位
光刻機中透鏡系統的定位
非接觸式感應位移傳感器(渦電流)可測量鏡頭元件的位置,以實現最高的成像精度。
根據鏡頭系統的不同,Micro-Epsilon的位移傳感器可用於檢測多達6個自由度的運動和位置。eddyNCDT傳感器提供高頻響應,還可以監控鏡頭系統的高動態運動。
推薦的傳感器技術:
渦電流位移計(感測器):非接觸位移量測
Micro Epsilon Taiwan
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