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capaNCDT 6500

Nanometer multi-channel system

多通道超高精度電容式位移量測系統

電容式位移計是專為高精度量測任務而設計。capaNCDT 6500 多通道量測系統提供了亞奈米級的解析度,其控制器最高響應頻率可高達 7.8kHz (數位4通道) 或是 8.5kHz (8通道)。除了類比輸出之外,也能使用 EtherCAT介面。EtherCAT 能夠實現即時準確的資料傳輸,高速整合到現有的量測環境和多系統的同步。capaNCDT 6500 系統的設置和配置,也能夠使用web介面輕鬆完成。

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產品特性

  1. 量測行程 (mm): 0.05 | 0.2 | 0.5 | 0.8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
  2. 解析度 max. 0.0375nm
  3. 線性度 max. 0.01µm
  4. 響應頻率 8.5kHz (-3dB)
  5. 資料輸出 (數位) 7.8kHz
  6. 類比輸出 (電壓/電流)
  7. 乙太網路, EtherCAT
  8. 模組化設計 – 可擴充至8通道
  9. 外掛或是嵌入式訊號放大器
  10. 透過Web介面簡易設定參數
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Luigi Yang
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超高解析度

capaNCDT 6500系統設計用於需要亞奈米解析度的量測任務。在半導體行業和實驗室應用的精密定位量測,它的優勢表現得尤其出色。模組化的 capaNCDT 6500 專為多通道應用而設計。通過訊號放大器,最多可連接多達八個感測器到控制器端。

彈性的多通道系統

測量系統由一個整合顯示器的控制器和每個感測器的一個解調器(demodulator)組成,它們組合在一個系統中。最多可容納 2 個或 8 個解調器。功能強大的解調器可視應用情況,搭配整合式或遠端前置放大器(preamplifier)操作。這兩種版本都與所有 Micro-Epsilon 感測器型號相容。

通過Web界面就能簡單操作

完善的Web界面能簡易的完成控制器和感測器的設定流程,無需使用任何額外的軟體。網路界面可通過乙太網路,並提供訊號雜訊演算法、濾波和其他參數(如觸發,測量值存儲和線性化)的設置和配置選項。

電容式 DT6530 控制器可為電容式位移量測提供最高解析度與訊號穩定性。控制器最多可操作 8 個通道,不僅適用於導電物體,也適用於絕緣體。除了類比輸出外,控制器也配備乙太網路數位介面。DT6530 控制器與 capaNCDT 系列的所有感測器和線材相容。

Characteristics

  1. 解析度動態 0.002 % FSO (8.5kHz)

  2. 量測速率 8.5kHz (-3 dB) (可切換 20Hz;1kHz;8.5kHz)

  3. 類比輸出 0...10V(防短路),4...20mA;0...20mA

  4. 數位介面 Ethernet 24 Bit;EtherCAT

  5. 特殊調校:可達標準線材長度的四倍

此安裝框架專為雙面厚度量測的電容式感測器所設計,有助於使量測點彼此對齊。此框架可讓感測器完全位於同一軸線上,也就是說,測量點的排列是一致的。這可避免偏移量測,並可達到最高精度的可靠量測結果。安裝框架最多可容納 6 個感測器。兩個感測器各組成一個測量點。

Characteristics

  1. 多軌厚度量測,最多可同時量測 3 個點

  2. 高溫度穩定性,可在高達 100 °C 的溫度下進行精確測量

  3. 適用於真空環境

  4. 極精巧的設計

  5. 易於與現有系統整合和改裝

  6. 與 capaNCDT 感測器相容

  7. 可校正設計,提供高精度的厚度量測