用於高精度距離量測的電容式感測器
Micro-Epsilon 的電容式感測器在位移、距離、間隙及厚度測量方面，代表著最高精準度。多樣化的設計可實現最佳整合，並以其卓越的線性度、溫度穩定性及解析度而著稱。
所有電容式型號一目了然
圓柱型標準感測器
電容式 CSx 和 CS-x 感測器是圓柱形位移感測器，可透過周向或點式夾緊方式安裝。CS-x 型號在最佳夾緊點處採用稍寬的殼體設計，可實現簡易且可重複的安裝。由於內建插座，感測器易於插接，並可搭配不同類型的感測器線材使用。
特徵
- 量測範圍 (mm)：0.05 | 0.2 | 0.25 | 0.5 | 0.8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
- 線性度自 0.125 µm
- 解析度從 0.015 nm 起
- 溫度範圍 -50 ... +200 °C
- 靶材直徑從 Ø 3 mm 起
- 優異的溫度穩定性
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採極緊湊設計的圓柱型感測器
CSE 感測器為圓柱形位移感測器，在相同量測範圍下，其設計比標準的 CSx 和 CS-x 型號更為緊湊。這使得它們特別適合用於安裝空間狹窄的場合。安裝方式可採用周向夾緊或點式夾緊。根據量測範圍的不同，感測器可採用插接式設計，或配備內建感測器電纜。
特徵
- 量測範圍 (mm): 0.1 | 0.25 | 0.5 | 1 | 1.25 | 2 | 3
- 線性度自 0.25 µm
- 解析度從 0.03 nm
- 溫度範圍 -50 ... +200 °C
- 靶材直徑從 Ø 3 mm
- 優異的溫度穩定性
- 紧凑型设计
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高精度圓柱型感測器
電容式 CSH 感測器為圓柱形感測器，適用於需要最高精度的應用場合。其安裝方式可採用周向夾緊或點夾緊。此類感測器亦配備整合式感測器線纜。
特徵
- 量測範圍 (mm): 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2
- 線性度自 0.08 µm
- 解析度從 0.06 nm
- 溫度範圍 -50 ... +200 °C
- 靶材直徑從 Ø 7 mm
- 優異的溫度穩定性
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帶螺紋的圓柱型感測器
電容式 CSE/Mx 感測器配備內建螺紋。這意味著它們可直接旋入測量點進行安裝，適用於無法使用夾具固定之情況。由於具備內建插座，這些感測器易於插接，並可搭配不同類型的感測器線纜使用。
特徵
- 量測範圍 (mm): 0.5 | 1.25 | 2 | 3
- 線性度自 0.25 µm
- 解析度從 0.15 nm
- 溫度範圍 -50 ... +200 °C
- 靶材直徑從 Ø 7 mm
- 優異的溫度穩定性
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平板型感測器
電容式 CSHxFL 感測器以扁平設計為特色，相較於圓柱型機型，其安裝高度更低。由於採用緊湊設計，感測器線纜已預先永久整合於機身內。使用者可透過外殼上內建的安裝孔，輕鬆將感測器以螺絲固定到位。
特徵
- 量測範圍 (mm): 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2 | 3
- 線性度自 0.08 µm
- 解析度從 0.06 nm
- 溫度範圍 -50 ... +200 °C
- 靶材直徑從 Ø 7 mm
- 優異的溫度穩定性
- 扁平设计，节省安装空间
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間隙感測器
電容式 CSG 和 CSF 感測器以其極度扁平的 PCB 設計為特色，因此特別適合用於間隙測量。CSF 型號僅偵測單側間隙，因此適用於具有靜止側的應用，以及檢測和維修用途。另一方面，CSG 型號則基於兩個獨立的距離值來判定間隙寬度，因此可進行雙側測量。它們能自由伸入間隙中，並始終用於間隙兩側皆可移動的情況，例如兩個旋轉滾輪之間。
特徵
- 量測範圍 (mm): 0.5 | 1 | 2 | 4 | 6
- 線性度自 0.5 µm
- 解析度從 0.15 nm
- 目标直径约为 10 x 10 mm
- 溫度範圍 -50 ... (+100) +150 °C
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適用於高達 800 °C 環境的圓柱型感測器
電容式 CSE/HT 感測器的特點在於其溫度範圍特別寬廣，最高可達 +800 °C。內建的高溫感測線纜可補償電場與磁場造成的干擾。結合其優異的高溫穩定性與極高的線性度，即使在嚴苛的環境條件下，仍能提供精確的測量結果。這些感測器採用環形夾具安裝，操作簡便，且內建的感測線纜可透過額外的標準感測線纜進行延伸。
特徵
- 量測範圍 (mm): 1 | 2 | 5 | 10
- 線性度自 0.5 µm
- 解析度從 10 nm
- 宽广的温度范围 -50 ... +800 °C
- 靶材从 Ø 8 mm
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適用於挑戰性環境的堅固型感測器
電容式 CSH/SE 或 CSH/FL/SE 感測器專為嚴苛環境所設計，例如極低溫度或強磁場等環境。它們亦非常適合用於無塵室及超高真空應用。該系列感測器提供圓柱型（CSH/SE）與平板型（CSH/FL/SE）兩種設計。
特徵
- 量測範圍 (mm): 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2 | 3 | 5
- 線性度自 0.25 µm
- 解析度從 0.075 nm
- 溫度範圍 -270 ... +200 °C
- 适用于极端低温、洁净室、超高真空或强磁场等严苛环境
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Data Sheet capaNCDT CSH/SE / capaNCDT CSH/FL/SE
適用於受限安裝空間的超精巧感測器
Micro-Epsilon 提供極其緊湊的電容式感測器，適用於狹窄空間的整合。無論是直徑僅 3 公釐的圓柱形感測器、厚度僅 0.35 公釐的超薄感測器，還是柔性 PCB 版本，在測量點幾乎不需要佔用任何空間。此外，測量範圍直接從感測器開始，可節省額外的安裝空間。
具備最高訊號穩定性的三軸設計
Micro-Epsilon 電容式感測器採用三軸設計，使其與傳統感測器明顯區別開來。內建的護環可形成極為均勻的測量場，為具備高訊號穩定性的極高精度測量奠定基礎。電氣屏蔽的感測器線纜可將外部干擾降至最低，並確保測量訊號具備極低的雜訊與高度可靠性。
量測範圍的擴展與縮減
為提升使用靈活性，可透過工廠校準將量測範圍放大或縮小一定倍數（例如 0.5 或 2）。此舉既能讓現有感測器設計適用於更寬廣的量測範圍，也能透過縮小量測範圍來提升量測精度。
真空與厚度量測附件
豐富的配件系列使感測器能完美適應各式各樣的應用場景。這包括真空元件（例如穿牆接頭和真空相容的感測器線纜），以及針對特殊測量任務所提供的客製化線纜長度和延長線。針對雙面厚度測量，選配的安裝支架可實現多軌解決方案，必要時亦可進行校正。此外，間隙感測器專用的吹氣附件，可確保其在嚴苛環境中仍能可靠運作。