亞奈米級解析度，用於絕對距離測量的白光干涉儀
新型白光干涉儀 IMS5600-DS 可用於最高精度的距離測量。控制器通過智能評估進行特殊校正，可實現亞奈米級解析度的絕對測量。此干涉儀可用於精度要求最高的測量任務，例如電子和半導體生產領域。
絕對距離測量，測量範圍和補償距離大
IMS5600-DS 用於高精度位移和距離測量。此系統提供絕對測量值，因此也可用於階梯輪廓的距離測量。由於採用了絕對測量，步階取樣訊號穩定性高。因此，在對移動物體進行測量時，可以可靠地檢測到階梯或凹陷的高度差異。此測量系統的解析度為亞奈米級，補償距離相對於測量範圍較大。
多層距離量測
對透明物體進行多峰距離測量時，最多可同時評估 14 個距離值。例如，可以確定玻璃和載板之間的距離。然後，控制器可根據距離值計算出玻璃的厚度。
專為在真空中進行高解析度距離量測而設計
IMS5600-DS 干涉儀可用於真空環境和無塵室中的測量任務，其解析度可達亞奈米範圍。對於真空應用，Micro-Epsilon 提供特殊的感測器、線材和穿通附件。這些感測器和線材在很大程度上沒有微粒，可用於從無塵室到超高真空環境。
多樣化的表面測量
干涉測量法可對許多表面進行測量。因此，可以對反射金屬、塑膠和玻璃進行高精度距離測量。
NEW: Sensors also with 90° beam path
Due to their compact size, these sensors can also be integrated into restricted spaces. In particular, the models with 90° beam path require significantly less required installation space.
多種型號適用於高要求的測量任務
| 型號 | 量測範圍 / 起始量測位置 |
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可測層數 |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|
| IMS5600-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm /大約 . 0,5 mm | ±10 nm | - | 在無塵室環境和真空中進行高精度距離量測，例如在塗層晶圓上進行量測。 非磁性鈦 UHV 變體可在強磁場中使用，例如醫療技術（核旋轉或電子束顯微鏡）。 |
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| IMS5600-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | ||||||
| IMS5600-DS19 |
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±10 nm | - | 工業生產過程中的高精度距離測量，如精密製造領域 | |||
| IMS5600-DS19/VAC | 在無塵室和真空環境中執行精確定位任務和距離測量，例如在面板顯示器生產中進行mask定位 | ||||||
| IMS5600MP-DS19 | 距離量測: 2.1 mm / 大約 19 mm 厚度量測: 0.01 ... 1.3 mm (針對 BK7, n=1.5) / 大約 19 mm |
第一段距離: ±10 nm 後續每一段距離: ±100 nm |
至多 13 層 | 工業生產過程中的高精度距離和厚度測量，例如半導體生產中用於確定晶圓或 LED 的厚度測量 | |||
| IMS5600MP-DS19/VAC | 在無塵室和真空環境中進行高精度距離和厚度測量，例如在半導體生產中測量mask和晶圓上的位置和間隙尺寸 |
可與機器和系統整合的現代接口
控制器提供Ethernet、EtherCAT 和 RS422 等整合接口，以及額外的encoder連接、類比輸出、同步輸入和數位輸入/輸出。當使用 Micro-Epsilon 的接口模組時，還可以使用 PROFINET 和 EthernetIP。這樣就可以將干涉儀整合到所有控制的系統和生產程序中。
