全新
聯絡
下載

interferoMETER 5600-DS

Absolute distance measurements with subnanometer resolution

亞奈米級解析度,用於絕對距離測量的白光干涉儀

新型白光干涉儀 IMS5600-DS 可用於最高精度的距離測量。控制器通過智能評估進行特殊校正,可實現亞奈米級解析度的絕對測量。此干涉儀可用於精度要求最高的測量任務,例如電子和半導體生產領域。

logo

產品特點

  1. 亞奈米級精度的距離測量
  2. 同類最佳: 解析度 30 皮米
  3. 絕對測量,適用於步階輪廓
  4. 感測器外型小巧、堅固耐用,補償距離大
  5. 測量速率高達 6 kHz,適合高速測量
  6. 通過web介面可輕鬆調整參數
  7. 感測器和線材適用於真空環境
[]
聯絡
Luigi Yang
聯絡表單
Your request for: {product}
* 必填資訊
我們謹慎的保護客戶個資,詳見

絕對距離測量,測量範圍和補償距離大

IMS5600-DS 用於高精度位移和距離測量。此系統提供絕對測量值,因此也可用於階梯輪廓的距離測量。由於採用了絕對測量,步階取樣訊號穩定性高。因此,在對移動物體進行測量時,可以可靠地檢測到階梯或凹陷的高度差異。此測量系統的解析度為亞奈米級,補償距離相對於測量範圍較大。

多層距離量測

對透明物體進行多峰距離測量時,最多可同時評估 14 個距離值。例如,可以確定玻璃和載板之間的距離。然後,控制器可根據距離值計算出玻璃的厚度。

專為在真空中進行高解析度距離量測而設計

IMS5600-DS 干涉儀可用於真空環境和無塵室中的測量任務,其解析度可達亞奈米範圍。對於真空應用,Micro-Epsilon 提供特殊的感測器、線材和穿通附件。這些感測器和線材在很大程度上沒有微粒,可用於從無塵室到超高真空環境。

穩定的距離測量,精度最高

控制器可通過 DIN rail安裝在控制櫃中,並通過主動溫度補償和被動冷卻提供非常穩定的測量結果。這些外型小巧的感測器非常節省空間,並配有長度可挑選的光纖線材。線材長度可達 10 米,可實現感測器和控制器的空間隔離。由於整合了前導雷射器,感氣器可以輕鬆快速地對準。調試和參數設置可通過web介面進行,無需額外安裝任何軟體。

多樣化的表面測量

干涉測量法可對許多表面進行測量。因此,可以對反射金屬、塑膠和玻璃進行高精度距離測量。

NEW: Sensors also with 90° beam path

Due to their compact size, these sensors can also be integrated into restricted spaces. In particular, the models with 90° beam path require significantly less required installation space.

多種型號適用於高要求的測量任務

型號 量測範圍 /
起始量測位置
線性度 可測層數 應用領域
IMS5600-DS19 2.1 mm / 大約 19 mm ±10 nm - 工業生產過程中的高精度距離測量,如精密製造領域
IMS5600-DS19/VAC 在無塵室和真空環境中執行精確定位任務和距離測量,例如在面板顯示器生產中進行mask定位
IMS5600MP-DS19 距離量測:
2.1 mm / 大約 19 mm
厚度量測:
0.01 ... 1.3 mm (針對 BK7, n=1.5) / 大約 19 mm
第一段距離: ±10 nm
後續每一段距離: ±100 nm
至多 13 層 工業生產過程中的高精度距離和厚度測量,例如半導體生產中用於確定晶圓或 LED 的厚度測量
IMS5600MP-DS19/VAC 在無塵室和真空環境中進行高精度距離和厚度測量,例如在半導體生產中測量mask和晶圓上的位置和間隙尺寸

可與機器和系統整合的現代接口

控制器提供Ethernet、EtherCAT 和 RS422 等整合接口,以及額外的encoder連接、類比輸出、同步輸入和數位輸入/輸出。當使用 Micro-Epsilon 的接口模組時,還可以使用 PROFINET 和 EthernetIP。這樣就可以將干涉儀整合到所有控制的系統和生產程序中。                

Tutorials