亞奈米級解析度,用於絕對距離測量的白光干涉儀
新型白光干涉儀 IMS5600-DS 可用於最高精度的距離測量。控制器通過智能評估進行特殊校正,可實現亞奈米級解析度的絕對測量。此干涉儀可用於精度要求最高的測量任務,例如電子和半導體生產領域。
![](/fileadmin/_processed_/b/c/csm_interferometers-ims5400ds-multipeak-distance-measurement_3390e0311d.jpg)
多層距離量測
對透明物體進行多峰距離測量時,最多可同時評估 14 個距離值。例如,可以確定玻璃和載板之間的距離。然後,控制器可根據距離值計算出玻璃的厚度。
多種型號適用於高要求的測量任務
型號 | 量測範圍 / 起始量測位置 |
線性度 | 可測層數 | 應用領域 |
---|---|---|---|---|
IMS5600-DS19 | 2.1 mm / 大約 19 mm | ±10 nm | - | 工業生產過程中的高精度距離測量,如精密製造領域 |
IMS5600-DS19/VAC | 在無塵室和真空環境中執行精確定位任務和距離測量,例如在面板顯示器生產中進行mask定位 | |||
IMS5600MP-DS19 | 距離量測: 2.1 mm / 大約 19 mm 厚度量測: 0.01 ... 1.3 mm (針對 BK7, n=1.5) / 大約 19 mm |
第一段距離: ±10 nm 後續每一段距離: ±100 nm |
至多 13 層 | 工業生產過程中的高精度距離和厚度測量,例如半導體生產中用於確定晶圓或 LED 的厚度測量 |
IMS5600MP-DS19/VAC | 在無塵室和真空環境中進行高精度距離和厚度測量,例如在半導體生產中測量mask和晶圓上的位置和間隙尺寸 |
接口和訊號處理裝置
可與機器和系統整合的現代接口
控制器提供Ethernet、EtherCAT 和 RS422 等整合接口,以及額外的encoder連接、類比輸出、同步輸入和數位輸入/輸出。當使用 Micro-Epsilon 的接口模組時,還可以使用 PROFINET 和 EthernetIP。這樣就可以將干涉儀整合到所有控制的系統和生產程序中。
![](/fileadmin/micro-epsilon/interfaces-logos/logo-analog.jpg)
![](/fileadmin/micro-epsilon/interfaces-logos/logo-rs422.jpg)
![](/fileadmin/micro-epsilon/interfaces-logos/logo-ethernet.jpg)
![](/fileadmin/micro-epsilon/interfaces-logos/logo-ethercat.jpg)
![](/fileadmin/micro-epsilon/interfaces-logos/logo-profinet.jpg)
![](/fileadmin/micro-epsilon/interfaces-logos/logo-ethernet-ip.jpg)