白光干涉儀可進行穩定的厚度測量，精度達到亞微米級
新型 IMS5400-TH 白光干涉儀為工業厚度測量開辟了新的前景。此控制器具有智能評估功能，能夠以最高精度測量透明物體的厚度。
不同測量距離下的穩定厚度測量
IMS5400-TH 白光干涉儀用於從相對較遠的距離進行高精度厚度測量。決定性的優勢在於測量不受距離影響，即使是移動的物體也能獲得奈米級的精確厚度值。厚度測量範圍大，可以測量薄層、平板玻璃和薄膜。由於白光干涉儀在近紅外光範圍內與 SLED 一起工作，因此還可以測量防反射塗層玻璃的厚度。
多層厚度測量
使用多峰值控制器，可以同時評估多個訊號峰值。這樣就可以對透明物體和夾層玻璃進行多層厚度測量。無論其位置如何，控制器都能輸出穩定性最高的厚度值。
工業環境的理想選擇
Robust sensors and a controller in a metal housing make the system ideally suitable for integration into production lines. The controller can be installed in the control cabinet via DIN rail mounting and provides very stable measurement results due to active temperature compensation and passive cooling. These compact sensors are extremely space-saving and have highly flexible fiber optic cables. Cable lengths up to 10 m allow a spatial separation of sensor and controller. The sensor can be aligned easily and quickly using the integrated pilot laser. Commissioning and parameterization are conveniently performed via web interface and do not require any software installation.
堅固的感測器和金屬外殼內的控制器使此系統非常容易整合到生產線中。控制器可通過 DIN rail安裝在控制櫃中，並通過主動溫度補償和被動冷卻提供非常穩定的測量結果。這些外型小巧的感測器非常節省空間，並配有高度靈活的光纖線材。線材長度可達 10 米，可實現感測器和控制器的空間隔離。使用整合的前導雷射器可輕鬆快速地對準感測器。調試和參數設置可通過web介面進行，無需額外安裝任何軟體。
多種型號適用於高要求的測量任務
| 型號 | 量測範圍 / 起始量測距離 |
線性度 | 可量測層數 | 應用領域 |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-TH45 | 0.035 ... 1.5 mm (for BK7, n=1.5) / 起始量測位置大約 41.5 mm, 可量測範圍大約 7 mm |
±100 nm | 1 層 | 工業線上厚度測量，如平面玻璃的單層厚度量測 |
| IMS5400-TH45/VAC | 在無塵室和真空環境中進行線上厚度測量，例如在顯示器面板生產中進行真空間隙測量 | |||
| IMS5400MP-TH45 | ±100 nm | 至多 5 層 | 工業線上多層測量，如平面玻璃的多層厚度量測 | |
| IMS5400MP-TH45/VAC | 在無塵室和真空環境中進行線上厚度測量，例如在顯示器面板生產中進行真空多層厚度測量 | |||
| IMS5400-TH70 | 0.035 ... 1.5 mm (for BK7, n=1.5) / 起始量測位置大約 68 mm, 可量測範圍大約 4.2 mm |
±200 nm | 1 層 |
工業線上厚度測量，如單層薄膜的厚度測量 |
| IMS5400MP-TH70 | ±200 nm | 至多 5 層 | 工業線上多層測量，如多層薄膜的厚度測量 |
可與機器和系統整合的現代接口
控制器提供Ethernet、EtherCAT 和 RS422 等接口，以及額外的encoder連接、類比輸出、同步輸入和數位輸入/輸出。使用 Micro-Epsilon 的接口模組時，還可以使用 PROFINET 和 EthernetIP。這樣就可以將干涉儀整合到所有控制系統和生產程序中。
