位移/距離/厚度感測器

LINKS快速連結

電容式位移計

非接觸式位移感測器 (電容原理) 電子型錄下載

Capacitive displacement sensor

電容式位移計感測器/傳感器是以非接觸式測量方式量測位移、距離、位置以及厚度。因其高信號高穩定性和高分辨率(奈米級解析度)特性，電容式位移感測器常被應用於實驗室和工業測量任務中。例如:生產控制量測應用中，使用電容式感測器測量其薄膜厚度和粘合劑。或安裝於機器中以監測位移和工具位置。

　

產品特點

高精度和高解析度高溫度穩定性適用真空環境量測	任何金屬待測物皆可量測，精度不受影響適用於量測導體/半導體可耐溫800度

　

　

	量測範圍	解析度	線性度.
capaNCDT 6110 精巧型單通道系統	0,05 - 10 mm	0.01 % F.S.O.	± 0.05 % F.S.O.
capaNCDT 6200 模組化多通道系統	0,05 - 10 mm	0.0005 % F.S.O.	± 0.025 % F.S.O.
capaNCDT 6500 模組化多通道系統	0,05 - 10 mm	0.00008 % F.S.O.	± 0.025 % F.S.O.
		FSO = of full scale output

　

　

創新技術之高精度

藉由獨特的感測器設計及三軸纜線、創新控制器技術結合出完美的測量系統。capaNCDT測量系統即代表著高精度和高穩定信號性。即使在工業應用中，電容式感測器也能在亞微米範圍內達到高解析度。

客製化感測器、OEM大批量應用　

我們將根據您的需求將我們的測量系統調整為針對特定客戶測量任務之設計:設計、目標物校準、線材長度、測量範圍、附帶集成控制器之感測器。

完全的相容性：感測器、控制器更換無需校準

capaNCDT系列感測器，線材、控制器可以快速輕鬆互換。使用創新技術，不需要額外的校正調整和線性校正。CapaNCDT系列組件易於互換，進而能在短時間內在現場進行不同測量範圍量測測試。Micro-Epsilon在此提供全球範圍最大的電容位移測量組合。

　
　

現代、人性化控制器技術

capaNCDT控制器配備了不同的接口(analog、Ethernet 、EtherCAT)。電容式測量系統可經由瀏覽器上網頁界面輕鬆調整。控制器透過乙太網接口連接到PC。設定、篩選器和演算功能隨後直接存儲在控制器中。

　

常規應用

晶圓TTV量測、晶圓測厚、晶圓機器人量測、晶圓定位量測、晶圓尋邊測量、光刻機定位量測、曝光機定位量測、基板厚度變異量測等

應用實例


奈米定位任務-位移計	大型電動機中氣隙測量


培養皿-高度測量	手術顯微鏡-精準定位

　

　

相關文章

點此看雜誌版->電容式感測器量測晶元厚度的德國雜誌(中文翻譯)
點此看雜誌版->電容式感測器量測晶元厚度的德國雜誌(德國原文)
Intelligent Integration (PDF, 82 KB)

Sensors in medical technology (PDF, 449 KB)
Precise adjustment (PDF, 225 KB)
Glossary: Measuring principle "Capacitive measurement principle"

下載總覽

Catalog capaNCDT (PDF, 2.86 MB)

　

Micro Epsilon Taiwan