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彩色共焦位移計
非接觸式位移感測器 (彩色共焦原理) 電子型錄下載 
Chromatic confocal displacement / thickness sensor
Micro-Epsilon的彩色共焦DT系統適用於快速距離、厚度測量、形狀分析等。 不同的感測器型號及控制器接口可搭配出各領域中各種用途及應用，例如Air Gap 、真空環境、多層測厚、Wafer平整度量測、晶圓彎曲翹曲測量、曲面、階高等；常被用於半導體行業、玻璃行業、醫療工程、塑料、薄膜生產領域等量測。被測物幾乎不受表面限制，也適用於塗層、鏡面和玻璃表面。
產品特點
產品規格
可量材料眾多(透明)
彩色共焦測量原理可實現高精度位移和距離測量 - 包括漫反射和反射表面。 由於測量點尺寸小，可以檢測到非常小的物體。 軸向光束路徑避免了陰影效應，即使在套管和凹槽中也能進行測量。 對於90°版本，可以在孔和凹槽內測量幾何特徵。帶寬100 kHz（-3dB）)
透明材料的單面厚度測量
共焦色度測量原理可以測量透明材料（如玻璃）的厚度。 僅使用單個傳感器檢測厚度值至微米精度。 控制器提供可編輯的可擴展材料數據庫。 可以使用網絡界面調整材料特定參數，例如折射率。 峰測量可以評估多達6個峰，這就是如何測量夾層玻璃等多層物體的方法。
有高解析度和高速度控制器
confocalDT控制器提供出色的信噪比，可實現高精度測量。 它們是全球最快的控制器之一，經常用於動態監控任務。 快速表面補償調節曝光週期以實現高信號穩定性，這在測量具有不同反射特性的表面時特別有利。 接口是RS422，以太網或EtherCAT
Web界面操作
由於用戶友好的Web界面，整個配置過程無需使用任何其他軟件即可執行。 可以通過以太網訪問Web界面，並提供設置和配置選項。 材料存儲在可擴展材料數據庫中。
影片
應用範例
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Catalog confocalDT (PDF, 7.17 MB)