彩色共焦位移計

非接觸式位移感測器 (彩色共焦原理)                             電子型錄下載 

Chromatic confocal displacement / thickness sensor

Micro-Epsilon的彩色共焦DT系統適用於快速距離、厚度測量、形狀分析等。 不同的感測器型號及控制器接口可搭配出各領域中各種用途及應用,例如Air Gap 、真空環境、多層測厚、Wafer平整度量測、晶圓彎曲翹曲測量、曲面、階高等;常被用於半導體行業、玻璃行業、醫療工程、塑料、薄膜生產領域等量測。被測物幾乎不受表面限制,也適用於塗層、鏡面和玻璃表面。

 

產品特

enlightened具高解析度和測量速率的距離和厚度測量
enlightened自動化和生產控制的理想選擇

enlightened幾乎與表面無關,適用於鏡面和玻璃表面

 enlightened極小且恆定的光斑尺寸
 enlightened奈米解析度
 enlightened工業級控制器,具有理想的性價比
 enlightened可在真空環境運作

 

 產品規格

  頻率響應 光源
confocalDT IFC2421 / 22
通用型共焦控制器,
有單/雙通道
6.5 kHz 內建LED
confocalDT IFD2411
新世代精巧型共焦控制器,
單通道,探頭搭配 1 / 2 / 3 / 6 mm
8 kHz 增強型LED
confocalDT IFD2410 / IFD2415
新世代整合型共焦控制器,
單通道,探頭搭配 1 / 3 / 6 / 10 mm ,無需光纖
8 kHz
25 kHz
增強型LED
confocalDT IFC2465
強光源的高速控制器,測量速率高達30 kHz
,有單/雙通道
30 kHz 增強型LED
confocalDT IFC2471HS
帶集成光源的控制器,測量速率高達70kHz
70 kHz 高強度白色LED
 



可量材料眾多(透明)

彩色共焦測量原理可實現高精度位移和距離測量 - 包括漫反射和反射表面。 由於測量點尺寸小,可以檢測到非常小的物體。 軸向光束路徑避免了陰影效應,即使在套管和凹槽中也能進行測量。 對於90°版本,可以在孔和凹槽內測量幾何特徵。帶寬100 kHz(-3dB))

 

 
   

透明材料的單面厚度測量

共焦色度測量原理可以測量透明材料(如玻璃)的厚度。 僅使用單個傳感器檢測厚度值至微米精度。 控制器提供可編輯的可擴展材料數據庫。 可以使用網絡界面調整材料特定參數,例如折射率。 峰測量可以評估多達6個峰,這就是如何測量夾層玻璃等多層物體的方法。
 

 

有高解析度和高速度控制器

confocalDT控制器提供出色的信噪比,可實現高精度測量。 它們是全球最快的控制器之一,經常用於動態監控任務。 快速表面補償調節曝光週期以實現高信號穩定性,這在測量具有不同反射特性的表面時特別有利。 接口是RS422,以太網或EtherCAT


 

Web界面操作

由於用戶友好的Web界面,整個配置過程無需使用任何其他軟件即可執行。 可以通過以太網訪問Web界面,並提供設置和配置選項。 材料存儲在可擴展材料數據庫中。
 
影片

 

  


應用範例

 

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醫療平板郵票和模具的質量控制 測量牙齒樣本共聚焦
用於催化劑生產的不銹鋼管 自動輪廓和零件測量

 

 

 

  

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下載總覽

Catalog confocalDT (PDF, 7.17 MB)

 

 

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