彩色共焦感測器，用於高精度距離、粗糙度和厚度測量

• 耐受環境溫度高達 200 °C
• 量測範圍 (mm): 0.8 | 2 | 4
• 最高溫度限制 200°C
• 線性度 max. < ±0,18 µm
• 解析度: max. < 6 nm
• 不鏽鋼外殼 1.4404
• 超高真空
• 90° 傾斜角度

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• 量測範圍 (毫米)： 0.1
• 線性度：最大 0.05 µm
• 解析度：最大 3 奈米
• 測量距離和粗糙度的理想選擇
• 適用於高速製程的光強度感測器 (NA 0.7)
• 小量測光點：3 µm
• 靈敏度高、量測角度大
• 透明物體的厚度量測：5 µm 以內

• 量測範圍 (毫米)： 0.8
• 線性度：最大 0.2 µm
• 解析度：最大 24 奈米
• 小光點
• 節省空間的感測器設計
• 即使在曲面上也能精確測量距離
• 薄層厚度量測的理想選擇

• 量測範圍 (mm) 1.5
• 5.5 µm 的極小測量光點
• 測量角度 >± 43°
• 強光型 (NA > 0.7)
• 曲面與鏡面的高精度量測
• 結構化表面上的穩定量測

• 測量範圍 (毫米)： 3
• 線性度：最大 0.5 µm
• 解析度：最大 13 奈米
• 大補償距離約 28 mm
• 最大量測角度 ± 30°
• 測量曲面和反射表面的理想選擇

• 量測範圍 (mm): 6
• 最大線性度 1 µm
• 解析度最高15 nm
• 大補償距離，約32 mm
• 複雜表面上的高速與高精度量測的理想選擇
• 於黑色或暗色表面上仍保有較高的光強度

• 量測範圍 (mm)： 0.3
• 線性度：最大 0.15 µm
• 解析度：最大 6 奈米
• 位移與粗糙度量測的理想選擇
• 小光點尺寸：6 µm
• 高靈敏度與大量測角度