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IFS2407 High precision sensors

彩色共焦感測器,用於高精度距離、粗糙度和厚度測量

confocalDT IFS2407 感測器專為高精度測量距離、粗糙度和厚度而設計。這些彩色共焦感測器具有高數值孔徑、小光點直徑,並可容許較大的量測角度,這表示感測器也可用於粗糙度量測。此外,這些感測器的精確度高達奈米級。

confocalDT IFS2407-0,1

  • 量測範圍 (毫米): 0.1
  • 線性度:最大 0.05 µm
  • 解析度:最大 3 奈米
  • 測量距離和粗糙度的理想選擇
  • 適用於高速製程的光強度感測器 (NA 0.7)
  • 小量測光點:3 µm
  • 靈敏度高、量測角度大
  • 透明物體的厚度量測:5 µm 以內

 

confocalDT IFS2407-0,8

  • 量測範圍 (毫米): 0.8
  • 線性度:最大 0.2 µm
  • 解析度:最大 24 奈米
  • 小光點
  • 節省空間的感測器設計
  • 即使在曲面上也能精確測量距離
  • 薄層厚度量測的理想選擇

 

confocalDT IFS2407-1,5

  • 量測範圍 (mm) 1.5
  • 5.5 µm 的極小測量光點
  • 測量角度 >± 43°
  • 強光型 (NA > 0.7)
  • 曲面與鏡面的高精度量測
  • 結構化表面上的穩定量測

 

confocalDT IFS2407-3

  • 測量範圍 (毫米): 3
  • 線性度:最大 0.5 µm
  • 解析度:最大 13 奈米
  • 大補償距離約 28 mm
  • 最大量測角度 ± 30°
  • 測量曲面和反射表面的理想選擇

 

confocalDT IFS2407/90-0,3

  • 量測範圍 (毫米): 0.3
  • 線性度:最大 0.15 µm
  • 解析度:最大 6 奈米
  • 位移與粗糙度量測的理想選擇
  • 小光點尺寸:6 µm
  • 高靈敏度與大量測角度
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