capaNCDT
TFG6220 電容式系統能以最高精度測量導電薄膜(例如電池薄膜)的厚度。真空裝置會吸入待測物體,使其平整,從而確保最佳且無皺褶的支撐。藉此,可實現最高精度的測量。該系統用於離線樣品檢驗的品質控制。TFG6220 出廠時已預先組裝完成,可立即投入使用
TFG6220 由包含感測器的測量支架及 capaNCDT 控制器組成。其厚度是透過結合兩個電容式感測器的訊號來計算的。透過外接的真空裝置,可自動使被測物表面平整。此舉能實現微米級的精確測量結果。
安裝於測量支架上方的固定式電容式感測器 (1) 用於測量與被測物 (2) 之間的距離。測量插件 (3) 提供一個參考表面,被測物會透過真空吸附於此表面並固定到位。位於下方的電容式感測器 (4) 會對測量插件進行測量,並補償接觸表面的機械偏移。