capaNCDT

電池薄膜的厚度量測

導電薄膜的高精度厚度量測

TFG6220 電容式系統能以最高精度測量導電薄膜的厚度,例如電池薄膜。真空裝置吸入待測物,使其平滑,從而確保最佳的無褶皺支撐。如此一來,就能以最高的精度進行量測。此系統可用於離線隨機抽樣形式的品質檢驗。TFG6220 已預先組裝就緒,可快速上手操作。

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特性

  1. 薄膜厚度的快速離線檢查
  2. 解析度:10 nm
  3. 高重複精度:1 µm
  4. 可能的薄膜厚度:< 1 mm
  5. 透過真空自動平整薄膜,實現高精度結果
  6. 整合式量測嵌件,可在厚度量測前進行簡易參考
  7. 透過免費提供的 sensorTOOL 軟體進行簡易操作/視覺化
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Luigi Yang
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精確測試,確保品質可靠

TFG6220 由包含感測器的測量支架和 capaNCDT 控制器組成。厚度是透過偏移兩個電容式感應器來計算的。測量物件的自動平滑化是透過外部連接的真空裝置來實現的。這可達到微米精度的結果。

永久安裝的電容式感測器 (1) 測量與測量對象的距離 (2) 測量插件 (3) 作為參考表面, 待測物透過此表面被真空吸入並拉伸, 電容式感測器置於底部 (4) 量測到測量插入件上, 並補償接觸面的機械偏移