高反光表面的高精度檢測與量測
reflectCONTROL 感測器能高精度地擷取與檢測高反光及半透明表面。根據感測器機型的不同,其可進行用於瑕疵檢測的高解析度 2D 檢測,或是用於精確形貌與幾何形狀檢測的全表面 3D 量測。相位量測偏折法可靠地使最微小的瑕疵與形貌偏差無所遁形。
應用範圍從工業表面檢測延伸至直徑最大達 300 mm 晶圓的自動化量測。因此,嚴苛的檢測任務可以高效、可重複且非接觸地整合至生產流程中。
為嚴苛的工業量測與檢測任務提供精確的 2D 及 3D 表面檢測。
型號

新品:reflectCONTROL RCS3500-300 3D 晶圓翹曲量測感測器
具備 300 mm 量測範圍的 3D 晶圓翹曲與平坦度量測感測器
單次拍攝即可完成整片晶圓擷取——無拼圖誤差,並針對高反光晶圓表面進行最佳化處理。適用於快速精確的 3D 翹曲與平坦度量測、後續製程中可靠的防撞保護,以及近線與線上檢測流程。









