用於直徑最大達 300 mm 晶圓全表面翹曲與平坦度量測的 3D 感測器
reflectCONTROL RCS3500-300 感測器可對直徑最大達 300 mm 的晶圓進行快速 3D 量測。僅需一次拍攝，即可擷取整個晶圓表面，並針對翹曲、彎曲及局部變形進行精確檢測。因此，能在偏差影響後續製程步驟之前及早發現。短量測時間可在持續的高產能量下實現高效品質監控——從而提高製程可靠性、降低報廢率並減少後續成本。
用於大尺寸晶圓的全表面 3D 偏折法
感測器在 370 mm 的工作距離下具備 300 mm 的量測範圍直徑，僅需一次拍攝即可對直徑最大達 300 mm 的晶圓進行全表面量測。這能生成一致的 3D 資料集，無需機械掃描，也無需對多個局部量測數據進行拼接。
短量測時間可實現高製程速度
reflectCONTROL RCS3500-300 3D 晶圓翹曲感測器能在極短時間內擷取精確的 3D 資料。自 1 秒起的短擷取時間可減少晶圓停留時間，從而支援自動化流程中的快速檢測流程。
得益於快速的處理能力，計算出的量測值、特徵或 OK/NOK 判定結果皆可即時取得。因此，品質決策能直接回饋至生產流程中——非常適合線上檢測、短週期時間與機器人自動化應用。翹曲、彎曲、平坦度及局部偏折均能獲得快速且可靠的評估。
應用領域
