capaNCDT

電池薄膜的厚度量測

導電薄膜的高精度厚度量測

TFG6220 電容式系統能以最高精度測量導電薄膜(例如電池薄膜)的厚度。真空裝置會吸入待測物體,使其平整,從而確保最佳且無皺褶的支撐。藉此,可實現最高精度的測量。該系統用於離線樣品檢驗的品質控制。TFG6220 出廠時已預先組裝完成,可立即投入使用

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特性

  1. 薄膜厚度的快速離線檢查
  2. 解析度:10 nm
  3. 高重複精度:1 µm
  4. 可能的薄膜厚度:< 1 mm
  5. 透過真空自動平整薄膜,實現高精度結果
  6. 整合式量測嵌件,可在厚度量測前進行簡易參考
  7. 透過免費提供的 sensorTOOL 軟體進行簡易操作/視覺化
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Luigi Yang
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精確測試,確保品質可靠

TFG6220 由包含感測器的測量支架及 capaNCDT 控制器組成。其厚度是透過結合兩個電容式感測器的訊號來計算的。透過外接的真空裝置,可自動使被測物表面平整。此舉能實現微米級的精確測量結果。

安裝於測量支架上方的固定式電容式感測器 (1) 用於測量與被測物 (2) 之間的距離。測量插件 (3) 提供一個參考表面,被測物會透過真空吸附於此表面並固定到位。位於下方的電容式感測器 (4) 會對測量插件進行測量,並補償接觸表面的機械偏移。