多通道超高精度電容式位移量測系統
電容式位移計是專為高精度量測任務而設計。capaNCDT 6500 多通道量測系統提供了亞奈米級的解析度，其控制器最高響應頻率可高達 7.8kHz (數位4通道) 或是 8.5kHz (8通道)。除了類比輸出之外，也能使用 EtherCAT介面。EtherCAT 能夠實現即時準確的資料傳輸，高速整合到現有的量測環境和多系統的同步。capaNCDT 6500 系統的設置和配置，也能夠使用web介面輕鬆完成。
超高解析度
capaNCDT 6500系統設計用於需要亞奈米解析度的量測任務。在半導體行業和實驗室應用的精密定位量測，它的優勢表現得尤其出色。模組化的 capaNCDT 6500 專為多通道應用而設計。通過訊號放大器，最多可連接多達八個感測器到控制器端。
彈性的多通道系統
測量系統由一個整合顯示器的控制器和每個感測器的一個解調器(demodulator)組成，它們組合在一個系統中。最多可容納 2 個或 8 個解調器。功能強大的解調器可視應用情況，搭配整合式或遠端前置放大器(preamplifier)操作。這兩種版本都與所有 Micro-Epsilon 感測器型號相容。
通過Web界面就能簡單操作
完善的Web界面能簡易的完成控制器和感測器的設定流程，無需使用任何額外的軟體。網路界面可通過乙太網路，並提供訊號雜訊演算法、濾波和其他參數（如觸發，測量值存儲和線性化）的設置和配置選項。
電容式 DT6530 控制器可為電容式位移量測提供最高解析度與訊號穩定性。控制器最多可操作 8 個通道，不僅適用於導電物體，也適用於絕緣體。除了類比輸出外，控制器也配備乙太網路數位介面。DT6530 控制器與 capaNCDT 系列的所有感測器和線材相容。
- 解析度動態 0.002 % FSO (8.5kHz)
- 量測速率 8.5kHz (-3 dB) (可切換 20Hz；1kHz；8.5kHz)
- 類比輸出 0...10V（防短路），4...20mA；0...20mA
- 數位介面 Ethernet 24 Bit；EtherCAT
- 特殊調校：可達標準線材長度的四倍
- Data sheet capaNCDT 6500 (pdf, 1.20 MB)
- Operating Instructions capaNCDT 6500 EtherCAT (pdf, 7.94 MB)
- CAD file 3D-model DT6530/C rack, STEP (zip, 5.20 MB)
- sensorTOOL V2.1.1 (exe, 17.85 MB)
- Firmware update DT6530: SW1.5a / FW1.3a / Web-Build 20689 (zip, 1.26 MB)
- Micro-Epsilon EtherCAT ESI file "IF1032" (zip, 38.19 KB)
- MEDAQLib V5.3.1 (zip, 22.86 MB)
此安裝框架專為雙面厚度量測的電容式感測器所設計，有助於使量測點彼此對齊。此框架可讓感測器完全位於同一軸線上，也就是說，測量點的排列是一致的。這可避免偏移量測，並可達到最高精度的可靠量測結果。安裝框架最多可容納 6 個感測器。兩個感測器各組成一個測量點。
- 多軌厚度量測，最多可同時量測 3 個點
- 高溫度穩定性，可在高達 100 °C 的溫度下進行精確測量
- 適用於真空環境
- 極精巧的設計
- 易於與現有系統整合和改裝
- 與 capaNCDT 感測器相容
- 可校正設計，提供高精度的厚度量測