電容式位移計探頭
Micro-Epsilon 提供全系列的電容式位移感測器。 這些電容式感測器用於位移、位置以及厚度測量。 不同的感測探頭設計可實現與機台和系統的最佳整合。 capaNCDT 感測器在線性度、溫度穩定性和解析度方面提供了最好的性能。 在一般的工業環境中可以達到亞微米精度，在潔淨環境中甚至可以達到亞奈米精度。
產品特性
- 測量範圍 (mm)： 0.05 | 0.2 | 0.5 | 0.8 | 1 | 1.25 | 2 | 3 | 5 | 10
- 線性範圍從 0.15 µm
- 溫度範圍 -50 ... +200 °C
- 目標直徑從 Ø 3 mm 起
- capaNCDT 控制器適用於雙倍量程 (精度降低) 或半量程 (精度提高)
- 提供真空相容版本
產品特性
- 測量範圍 (mm)： 0.5 | 1.25 | 2 | 3
- 線性範圍從 0.5 µm
- 溫度範圍 -50 ... +200 °C
- 目標直徑從 Ø6 mm 起
- capaNCDT 控制器，量程加倍 (精度降低) 或量程減半 (精度提高)
- 螺紋式安裝極為穩定
產品特性
- 測量範圍 (mm)： 0.1 | 0.2 | 0.25 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2
- 線性範圍從 0.054 µm
- 溫度範圍 -50 ... +200 °C
- 目標直徑從 Ø7 mm 起
- capaNCDT 控制器，量程加倍 (精度降低) 或量程減半 (精度提高)
- 提供真空相容版本
產品特性
- 測量範圍 (mm)： 0.5 | 1
- 線性範圍從 0.5 µm
- 溫度範圍 -50 ... +100 °C
- 目標直徑約 8 x 9 mm
- 適用於間隙量測
產品特性
- 測量範圍 (mm) 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2 | 3
- 線性範圍 0.05 µm
- 溫度範圍 -50 ... +200 °C
- 目標直徑從 Ø7 mm 起
- capaNCDT 控制器適用於雙倍量程 (降低精度) 或半量程 (提高精度)
- 提供真空相容版本
- 扁平設計可確保節省安裝空間
產品特性
- 測量範圍 (mm)： 1 | 2 | 5 | 10
- 線性範圍從 0.5 µm
- 寬溫度範圍 -50 ... +800 °C
- 目標直徑從 Ø8 mm 起
- 透過 capaNCDT 控制器可達到雙倍量程 (降低精度) 或半量程 (提高精度)