白光干涉 位移 厚度 感測器

皮米級,非接觸式距離和厚度測量                電子型錄下載 

Micro-Epsilon的創新型白光干涉儀為高精度距離和厚度測量樹立了標杆。這些傳感器能夠以亞納米分辨率實現穩定的測量結果,並且具有相對較大的測量範圍和基本距離。干涉儀分為3個系列:用於高精度工業距離測量的IMS5400-DS,用於精確厚度測量的IMS5400-TH和用於以皮米計分辨率進行距離測量的兼容真空的IMS5600-DS。
 

產品特

enlightened奈米精度的絕對距離測量
enlightened與距離無關的厚度測量
enlightened分辨率小於30皮米(IMS5600)

enlightened新型評估算法和主動溫度補償功能,具有很高的信號穩定性
enlightened通過Web界面輕鬆進行參數設置

enlightened行業優化的傳感器,帶有堅固的金屬外殼和柔性電纜

enlightened真空用電纜與連接器



 

可真空環境使用

工業級白光干涉儀由堅固的傳感器,高度靈活的傳感器電纜和鋁製外殼中的控制器組成,該控制器可以連接至禮帽式軌道。該控制器具有主動溫度控制功能,通過該功能可以補償環境溫度的變化,從而實現了極大的溫度穩定性。得益於堅固的設計,干涉儀也可以集成在工業環境中。最長10 m的電纜長度也允許控制器和傳感器的物理隔離。真空兼容的傳感器,電纜和電纜套管可用於在潔淨室和真空中測量任務。



 

小光斑,用於測量最小的細節和結構

感測器在整個測量範圍內產生一個小的光斑。光斑直徑僅為10 µm,可以檢測到諸如半導體結構和小型化的電子元件之類的小細節。光點可以通過先導激光觀察到,從而更容易對準傳感器。


 

通過Web界面輕鬆操作


控制器和傳感器的整個配置無需任何額外的軟體即可通過Web界面進行取值與設定參數,如輕鬆地設置例如平均值,測量速率等等。


應用範例
 
​​​
晶圓平台定位用 光刻製成的光罩定位

 

 


相關連結

Catalog interferoMETER (White light interferometer) (PDF, 3.19 MB)
Quick Manual interferoMETER IMS5x00 (PDF, 2.56 MB)

 

下載總覽

sensorTOOL V1.8.0 (EXE, 15.88 MB)
interferoMETER IMS5x00 Firmware Update V001.050.030 Build 0024 - EtherCAT XML 1.7 - UpdateSensor V4.4.2.6 (ZIP, 3.97 MB)
MEDAQLib V4.12.0 (ZIP, 17.83 MB)

 

 

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