白光干涉位移厚度感測器

白光干涉位移/厚度計皮米級測量電子型錄下載
white light interferometers displacement / thickness sensor

Micro-Epsilon的創新型白光干涉儀為高精度距離和厚度測量樹立了標杆。這些傳感器能夠以亞納米分辨率實現穩定的測量結果，並且具有相對較大的測量範圍和基本距離。干涉儀分為3個系列：用於高精度工業距離測量的IMS5400-DS，用於精確厚度測量的IMS5400-TH和用於以皮米計分辨率進行距離測量的兼容真空的IMS5600-DS。

產品特點

奈米精度的絕對距離測量與距離無關的厚度測量分辨率小於30皮米（IMS5600）	新型評估算法和主動溫度補償功能，具有很高的信號穩定性通過Web界面輕鬆進行參數設置行業優化的傳感器，帶有堅固的金屬外殼和柔性電纜真空用電纜與連接器

可真空環境使用

工業級白光干涉儀由堅固的傳感器，高度靈活的傳感器電纜和鋁製外殼中的控制器組成，該控制器可以連接至禮帽式軌道。該控制器具有主動溫度控制功能，通過該功能可以補償環境溫度的變化，從而實現了極大的溫度穩定性。得益於堅固的設計，干涉儀也可以集成在工業環境中。最長10 m的電纜長度也允許控制器和傳感器的物理隔離。真空兼容的傳感器，電纜和電纜套管可用於在潔淨室和真空中測量任務。