產品特點
奈米精度的絕對距離測量 與距離無關的厚度測量 分辨率小於30皮米(IMS5600)
新型評估算法和主動溫度補償功能,具有很高的信號穩定性 通過Web界面輕鬆進行參數設置
行業優化的傳感器,帶有堅固的金屬外殼和柔性電纜
對應真空應用的新探頭
可真空環境使用
小光斑,用於測量最小的細節和結構
通過Web界面輕鬆操作
控制器和傳感器的整個配置無需任何額外的軟體即可通過Web界面進行取值與設定參數,如輕鬆地設置例如平均值,測量速率等等。
應用範例
相關連結 Catalog interferoMETER (White light interferometer) (PDF, 3.19 MB) Quick Manual interferoMETER IMS5x00 (PDF, 2.56 MB)
下載總覽
sensorTOOL V1.8.0 (EXE, 15.88 MB) interferoMETER IMS5x00 Firmware Update V001.050.030 Build 0024 - EtherCAT XML 1.7 - UpdateSensor V4.4.2.6 (ZIP, 3.97 MB) MEDAQLib V4.12.0 (ZIP, 17.83 MB)