非接觸式量測距離和厚度的高精度白光干涉儀
Micro-Epsilon 的創新型白光干涉儀為高精度距離和厚度測量樹立了標竿。這些感測器具有亞奈米解析度，測量範圍和偏移距離相對較大，可實現穩定的測量結果。干涉儀有 3 個系列：用於精確量測距離的 IMS5400-DS、用於精確量測厚度的 IMS5400-TH 和用於皮米解析度距離測量的真空適用型 IMS5600-DS。
給工業與自動化產業的白光干涉儀
工業用白光干涉儀由一個堅固的感測器、一條可供選配的感測器電纜線材和一個控制器組成，控制器裝在一個鋁製外殼內，可安裝在 DIN 導軌上。控制器具有主動溫度控制功能，可對環境溫度變化進行補償，從而實現極高的溫度穩定性。由於設計堅固，此干涉儀還可整合到工業環境中。此外，長達 10 米的電纜線材還可實現感測器和控制器之間的空間隔離。對於無塵室和真空環境中的測量任務，可提供適用於真空環境的感測器、電纜線材和相關附件。
極高的Z軸解析度和較小的光點，可測量最微小的細節和結構
白光干涉儀的解析度達到亞奈米級。此外，它們還能在整個測量範圍內產生 10 µm 的光點。這樣就可以測量小細節，如半導體和微型電子元件上的結構。光點由前導雷射顯示，便於對感測器進行校準。
不同設計下的新型感測器
新型白光干涉儀具有不同的設計和性能，可整合到要求苛刻的環境中。由於其 90° 光束路徑，IMP-DS0.5/90/VAC 還可以安裝在較小的安裝空間內。新型 IMP-DS1/VAC 微型感測器是 Micro-Epsilon 體積最小的光學感測器之一。此感測器直徑為 4 mm，配有整合的線材，因此也可用於極其狹窄的安裝空間。感測器和線材既可用於無塵室，也可用於真空環境。
獲得專利的前導雷射可輕鬆實現感測器定位
白光干涉儀使用的是不可見光範圍內的紅外光（波長約為 840 nm），這意味著無法看到測量位置。為了使測量位置可視化，Micro-Epsilon 系統配備了前導雷射，可將光點投射到測量位置上。此外，前導雷射還採用一種專利方法，在測量位置之外提供距離反饋。如果測量物體的距離正確且在測量範圍內，前導雷射就會發出持續的光。如果測量物體在測量範圍之外，前導雷射就會閃爍。
用於感測器校準的可調式安裝適配器
為了達到最高精度，干涉儀必須盡可能垂直於目標。使用可調式安裝適配器，可以將感測器與測量目標精確對準。您也可以將感測器安裝到機器後再對齊。工業適配器允許在 x 軸和 y 軸上進行位移，也允許將感測器傾斜於測量目標。
新：用於雙邊測厚的可調式安裝適配器
JMA-Thickness 是由兩個可調式安裝適配器組成，可在雙邊測厚中對齊感測器。這意味著測量點可以在光軸上絕對一致地重合，進而確保以最高精度進行可靠的厚度測量。JMA 厚度計非常適合整合到機器和生產設備中。預做的安裝板可實現快速簡便的安裝。
易於操作的web介面
由於採用了易於使用的web介面，因此無需額外軟體即可配置控制器和感測器。web介面可通過乙太網路連接訪問，可快速、輕鬆地設置平均值、測量速率和預設值等。
可與機器和系統整合的多樣化接口
控制器提供Ethernet、EtherCAT 和 RS422 等接口，以及額外的編碼器連接(encoder)、類比輸出、同步輸入和數位輸入/輸出。使用 Micro-Epsilon 的接口模組時，還可以使用 PROFINET 和 EthernetIP。這樣就可以將白光干涉儀整合到所有控制系統和生產程序之中。
應用
