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interferoMETER 5200-TH 超高精度白光干涉感測器

最薄層的高精度厚度量測

薄至 1 µm 的材料

亞奈米解析度

白光干涉儀可進行可靠的厚度測量,精度可達亞微米級

新型 IMS5200-TH 白光干涉儀為快速可靠的厚度測量開闢了新的前景。控制器具備智慧型評估功能,可精確測量 1 µm 以內透明層的厚度。由於高達 24 kHz 的高量測率,IMS5200 機型非常適合工業用途

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特點

  1. 測量速率高達 24 kHz,可進行快速、穩定的測量
  2. 操作範圍大,容易整合
  3. 精確的塗層厚度量測 1 µm 至 100 µm
  4. 多峰:可進行多層測量,最多可達 5 層
  5. 工業最佳化的感測器,具有堅固的金屬外殼
  6. 可在真空中使用
  7. 可透過 Web 介面進行簡單的設定
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Luigi Yang
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對於兩片玻璃板之間的氣隙量測 (n~1),量測範圍為 1.5 µm ... 150 µm。對於玻璃厚度量測 (n ~1.5),量測範圍為 1 µm 至 100 µm。

不同測量距離下的可靠厚度測量

IMS5200-TH 白光干涉儀用於高精度厚度測量。其決定性的優勢在於與距離無關的量測,即使是移動的物體也能達到奈米級的精確厚度值。1 到 100 µm 的量測範圍可量測透明薄層和薄膜

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多層厚度量測

使用多峰值控制器,可以同時評估數個波訊號。因此可以對透明物體和夾層玻璃進行多層厚度測量。無論其位置如何,控制器都會輸出具有最高穩定性的厚度值

工業環境的理想選擇

堅固耐用的感測器和控制器位於金屬外殼中,使系統非常適合整合到生產線中。此感測器設計精巧,操作範圍大,容易整合。即使在振動的環境下,也能提供穩定的測量結果。控制器可安裝在控制櫃內的 DIN 導軌上。線材長度可達 10 公尺,可讓感測器與控制器在空間上分離。調試和參數設定可透過 Web 介面方便地進行,不需要安裝任何軟體

多種機型適用於要求嚴苛的測量任務

型號 測量範圍 / 測量範圍的起始點 線性 可量測層數 應用領域
IMS5200-TH26 26 mm ±2 mm / 1 µm to 100 µm < 1 nm 1 層 快速可靠的線上透明薄層量測:例如薄膜和玻璃塗層
IMS5200-TH26/VAC
IMS5200MP-TH26 最多 5 層